王世杰迅速点头：“楚总放心，我们已经建立材料抽检机制，每批次原材料都会经过三轮检测，关键参数误差控制在规范标准之内。

而且华宇特气、先锋晶圆等企业都已启动扩产计划，明年原材料供应能力还能提升50%。”

他顿了顿，翻到报告下一页，语气带着几分振奋：“还有个好消息，45纳米放大版光刻产线的光源系统，通过女娲系统优化后，功率稳定性提升20%，主体结构设计预计4月份完成，最晚年底前就能实现整机调试。”

“试产不能急于求成。”楚千澜抬手打断，“放大版光刻机是突破专利壁垒的关键，每一个环节都要反复验证。当然，专利申请也不能疏忽。”

王世杰重重点头：“明白！我们已同步启动专利布局，围绕放大版光刻产线的光源优化、结构设计申请了21项概念性专利。在接下来的研发当中，还会将新发现的专利分批申请。

另外，张北光团队在拆解65纳米光刻机时，发现了三项可反向优化的技术点，已融入放大版光刻产线设计。”

楚千澜目光扫过报告中“反向优化技术”的标注：“很好，有先进的经验，我们自然要吸取，但要注意，不要使用有专利保护的技术。对了，放大版光刻产线的研发，有什么困难吗？”

王世杰脸上的振奋稍敛，语气多了几分凝重：“主要难点在光学镜头的国产化适配。

放大版产线的光路设计与原版65纳米光刻机不同，国内厂商生产的镜头在大视场下的成像畸变率始终控制在0.008微米，距离我们要求的0.005微米还有差距。”

他顿了顿，补充道：“张北光团队尝试用女娲系统推演优化镜片镀膜工艺，目前已将畸变率降至0.006微米，还在持续调试，但短期内恐难突破临界值。

另外，伺服电机的高速响应精度也有待提升，高速运转时的扭矩波动会影响工作台定位，进而影响光刻精度。”

楚千澜指尖轻叩桌面，眸色沉静：“光学镜头方面，让恒川机械联合国内顶尖光学厂商组建专项攻坚组，女娲系统会同步提供仿真数据支持，重点优化镀膜层数和材质配比；

伺服电机可以对接龙科院，他们之前协调过军工级电机厂商，或许能提供技术支持。”