“这是12级空气过滤系统的主管道，”王世杰指着头顶的管道，“从初效过滤到超高效过滤，一共12层，能把每立方米空气中的尘埃颗粒控制在1颗以内。

为了适配光刻机的高精度要求，我们还在管道末端加了静电吸附装置。”

楚千澜抬手触碰管道外壁，触感冰凉光滑：“动力系统的调试安排在什么时候？变压器容量是否足够支撑光刻机运行？”

“变压器已经扩容到2000KVA，下周就能完成调试。”王世杰翻开笔记本，“我们还预留了额外的扩容空间，以后就算新增生产线，供电系统也不需要改造高压侧线路。”

两人正说着，曲峰匆匆赶来，手里拿着一份文件：“楚总，政府推荐的那家进出口贸易公司已经做好清关准备，只要设备到港，一周内就能运到厂区。”

楚千澜接过文件，目光扫过转运方案，嘴角勾起一抹淡笑：“你居中联系郑安国与进出口贸易公司，做好对接，保证光刻机能顺利转运。”

随后，他看向王世杰，“王总，你这边提前做好接收准备，光刻机到厂后，马上进行安装调试。”

王世杰重重点头，眼中闪过一丝期待：“楚总放心，我们已经组建专门的设备接收团队，提前熟悉了193nm光刻机的安装手册，连专用吊装设备都预定好了。”

楚千澜沿着临时通道走到光刻区中央，脚下的防震地基比周边地面高出约30厘米，踩上去没有丝毫晃动。“地基的水平误差控制在多少？”

“用激光水平仪校准了三次，误差不超过0.3毫米。”王世杰递过一份检测报告，“后续安装光刻机时，还会用精密水平仪再做一次微调，确保设备处于绝对水平状态，避免影响曝光精度。”

楚千澜指尖轻叩防震地基边缘，目光扫过生产楼外忙碌的施工场景：“洁净室的施工进度要再盯紧点，尤其是空气过滤系统和恒温恒湿设备，必须在光刻机到港前完成初步调试。不能让设备到了，却没地方安装。”

王世杰翻开施工日志，“已经跟施工方沟通过了，他们正在加班赶进度。空调机组的核心部件下周三开始安装，一月底前肯定能完成单机调试。”

三人又在施工现场转了近一个小时，从光刻区的设备布局到蚀刻区的管道走向，逐一确认细节。

离开深蓝半导体厂区时，夕阳已将天际染成橘红色。